เครื่องเคลือบฟิล์มบางชนิดแมกนีตรอนสปัตเตออ์ริ่งแบบหัวคู่
ชื่อผู้ทำโครงงาน
ภูสิทธิ์ จันทนา
ชื่ออาจารย์ที่ปรึกษา
พิษณุ พูลเจริญศิลป์
สถาบันการศึกษา
ภาควิชาฟิสิกส์ คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยมหาสารคาม
ระดับชั้น
ปริญญาโทขึ้นไป
หมวดวิชา
ฟิสิกส์
วัน/เดือน/ปี ทำโครงงาน
01 มกราคม 2541
บทคัดย่อ
โครงงานนี้ได้มีการสร้างและทดสอบเครื่องเคลือบฟิล์มบางชนิดแมกนีตรอนสปัตเตอร์ริ่งแบบหัวคู่ เพื่อใช้ศึกษาสมบัติทางไฟฟ้าของหัวเคลือบและสเปกตรัมของพลาสมาโดยใช้เป้าอะลูมิเนียมและเป้าทองแดง พบว่าแมกนีตรอนสปัตเตออ์ริ่งแบบหัวคู่สามารถเคลือบฟิล์มหลายชั้นของอะลูมิเนียมและทองแดงได้ ความสัมพันธ์ระหว่างแรงดันที่ตกคร่อมและกระแสไฟฟ้าที่ไหลผ่านหัวเคลือบทำให้สามารถแบ่งแยกช่วงของการเกิดพลาสมาออกเป็น 3 ช่วง คือ ช่วงมืด ช่วงพลาสมาและช่วงการสปัตเตอร์ริ่ง และในการวัดสเปกตรัมสามารถตรวจพบสเปกตรัมของก๊าซอาร์กอน อะตอมของอะลูมิเนียมและอะตอมของทองแดง นอกจากนี้ฟิล์มสองชั้นที่เกิดจากการซ้อนทับระหว่างอะลูมิเนียมและทองแดงสามารถตรวจวัดแรงดันตกคร่อมฟิล์มเมื่อให้อุณหภูมิของฟิล์มเพิ่มขึ้น
คำสำคัญ
เคลือบ,ฟิล์ม,,แมกนีตรอน,สปัต,เตออ์,ริ่ง
ประเภท
Text
ลิขสิทธิ์
ภาควิชาฟิสิกส์ คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยมหาสารคาม
ผู้แต่ง หรือ เจ้าของผลงาน
ภูสิทธิ์ จันทนา
ระดับชั้น
ม.4, ม.5, ม.6
กลุ่มเป้าหมาย
ครู, นักเรียน
คุณอาจจะสนใจ
Hits
(77114)
ให้คะแนน
ศึกษาผลของสารสกัดหยาบที่สกัดด้วยเมทานอลจากเปลือกต้นตาเสือ (Aglaia spectabilis (Miq.) Jain & ...
Hits
(80400)
ให้คะแนน
Computer-Assisted Instruction (CAI): The basic of digital electronics experiment by use Multisim ...
Hits
(79548)
ให้คะแนน
เกมฮีโร่กู้โลก จัดทำขึ้นโดยมีวัตถุประสงค์เพื่อให้ทราบถึงสาเหตุของภาวะโลกร้อน ...
