โครงงานนี้ได้มีการสร้างและทดสอบเครื่องเคลือบฟิล์มบางชนิดแมกนีตรอนสปัตเตอร์ริ่งแบบหัวคู่ เพื่อใช้ศึกษาสมบัติทางไฟฟ้าของหัวเคลือบและสเปกตรัมของพลาสมาโดยใช้เป้าอะลูมิเนียมและเป้าทองแดง พบว่าแมกนีตรอนสปัตเตออ์ริ่งแบบหัวคู่สามารถเคลือบฟิล์มหลายชั้นของอะลูมิเนียมและทองแดงได้ ความสัมพันธ์ระหว่างแรงดันที่ตกคร่อมและกระแสไฟฟ้าที่ไหลผ่านหัวเคลือบทำให้สามารถแบ่งแยกช่วงของการเกิดพลาสมาออกเป็น 3 ช่วง คือ ช่วงมืด ช่วงพลาสมาและช่วงการสปัตเตอร์ริ่ง และในการวัดสเปกตรัมสามารถตรวจพบสเปกตรัมของก๊าซอาร์กอน อะตอมของอะลูมิเนียมและอะตอมของทองแดง นอกจากนี้ฟิล์มสองชั้นที่เกิดจากการซ้อนทับระหว่างอะลูมิเนียมและทองแดงสามารถตรวจวัดแรงดันตกคร่อมฟิล์มเมื่อให้อุณหภูมิของฟิล์มเพิ่มขึ้น
สถาบันส่งเสริมการสอนวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี (สสวท.) กระทรวงศึกษาธิการ เป็นหน่วยงานของรัฐที่ไม่แสวงหากำไร ได้จัดทำเว็บไซต์คลังความรู้ SciMath เพื่อส่งเสริมการสอนวิทยาศาสตร์ คณิตศาสตร์และเทคโนโลยีทุกระดับการศึกษา โดยเน้นการศึกษาขั้นพื้นฐานเป็นหลัก หากท่านพบว่ามีข้อมูลหรือเนื้อหาใด ๆ ที่ละเมิดทรัพย์สินทางปัญญาปรากฏอยู่ในเว็บไซต์ โปรดแจ้งให้ทราบเพื่อดำเนินการแก้ปัญหาดังกล่าวโดยเร็วที่สุด
The Institute for the Promotion of Teaching Science and Technology (IPST), Ministry of Education, a non-profit organization under the Thai government, developed SciMath as a website that provides educational resources in Science, Mathematics and Technology. IPST invites visitors to use its online resources for personal, educational and other non-commercial purpose. If there are any problems, please contact us immediately.
Copyright © 2018 SCIMATH :: คลังความรู้ SciMath. Terms and Conditions. Privacy. , All Rights Reserved.
อีเมล: This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it. (ให้บริการในวันและเวลาราชการเท่านั้น)