ในการศึกษานี้ ได้เตรียมฟิล์มบางของสารประกอบ ZnO โดยวิธี ดี ซี แมกนีตรอนสปัตเตอร์ริง ฟิล์มบางเตรียมจากเป้าสารเป้าเดียวของ ZnO ลงบนกระจก ที่มีเงื่อนไขการสปัตเตอร์ คือ กำลัง 100 วัตต์ ความดัน 10 มิลลิทอร์ ระยะเวลา 10 นาที และ 15 นาที ฟิล์มบางที่เตรียมได้ นำไปทดสอบคุณสมบัติการทะลุผ่านเชิงแสง เพื่อหาค่าช่องว่างแถบพลังงานและความหนา นอกจากนี้ฟิล์มบาง ZnO จะนำไปทดสอบสมบัติการตรวจจับก๊าซเอทานอล พบว่าที่เงื่อนไข 10 นาที ฟิล์มบาง ZnO มีความหนา 200 นาโนเมตร มีช่องว่าแถบพลังงาน 3.4 eV และที่เวลา 15 นาที ฟิล์มบาง ZnO มีความหนา 800 นาโนเมตร มีช่องว่าแถบพลังงาน 3.4 eV ฟิล์มบางทั้งสองมีการตอบสนองต่อไอเอทานอลได้ดีที่สุดที่ 260 องศาเซลเซียส